
前端工具中的隐藏痛点
晶圆制造工具(如光刻、蚀刻和化学气相沉积系统)在真空和极端温度条件下运行。这些环境中的紧固件必须能够抵抗咬合、避免产生颗粒,并在无数次工艺循环中保持精确的扭矩值。传统硬件可能会因微振动、腐蚀或材料不兼容而失效,导致污染、昂贵的停机时间和良率损失。
工程师们知道,真空接口或腔室安装中的最小问题都可能级联成生产延误。更换受污染或磨损的紧固件不仅耗时,而且成本高昂,通常需要重新校准工具和洁净室重新认证。这些正是Bossard通过专业产品开发以及与半导体OEM厂商的密切合作致力于消除的挑战。





